別光着ASML 專家稱光刻機只佔20%芯片製造：並非最重要的

本文來源於：快科技

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快科技5月13日消息，提到芯片製造，很多人都會第一時間想到光刻機，特別是EUV光刻機，畢竟全球只有荷蘭ASML一家公司能生產，美國自己也無法生產。

在這些人的觀念裏，光刻機就好像是飛機、軍艦中的發動機一樣，只要沒有ASML的光刻機甚至EUV光刻機，就沒法制造半導體芯片一樣。

不僅是國內的網友這麼認爲，唯光刻機論在海外也很有市場，似乎大部分網友都是這樣想的，已經到了神化ASML的地步了，只要提到芯片製造就會強調光刻機會卡脖子，而有了光刻機，臺積電這樣的公司就能隨便複製一樣。

但在業內人士來看，這種觀念顯然是不合理的，專業半導體網站的專家dylan522p解釋說，以成本來算，ASML的光刻機只佔了半導體制造的20%，他們甚至不是業界最大的裝備公司，AMAT應用材料纔是。

哪怕是EUV光刻機，它也不（直接）製造出芯片，而是曝光了光刻膠並圖案化，芯片是其他設備製造的，比如沉積、蝕刻、清潔、拋光、外延及離子注入等環節。

當然，他這個說法也有不少人不認同，不過大體上來說沒錯，在不同的製造中光刻機的佔比不同，越是先進的工藝中EUV光刻機越重要，成本佔比也會遠超20%，因爲要用光刻機多重曝光。

如果是內存或者閃存芯片製造，可能比光刻機更重要的是極高深寬比的蝕刻機，在這方面美國應用材料、KLA等公司要比ASML更卡脖子。

好消息是，國內的公司在蝕刻機這方面的進展比光刻機還要迅速，已經有不少重要突破了。