三星電子已經開始開發其"智能感測系統",旨在提高產量,並徹底改變其半導體工廠的運營方式。據DigiTimes援引ET News的報道,該系統主要設計用於實時監測和分析生產過程,並且目前可以自動處理等離子體的均勻性。最終,三星計劃在2030年之前實現其工廠的全自動化,無需人力勞動。
三星的終極目標是在2030年建立全無人半導體生產設施。要實現這個目標,就需要開發能管理大量數據並自動優化設備性能的系統。"智能感測系統"就是這個計劃的重要部分,預計將在實現這些智能、全自動化的工廠中發揮關鍵作用。三星目前正在向像智能傳感器這樣的項目投入數千萬韓元,希望其投資能夠長期得到回報。
目前正在開發的智能傳感器旨在測量晶片上等離子體的均勻性。由於蝕刻、沉積和清洗等半導體制造過程的結果在很大程度上受到等離子體均勻性的影響,因此準確地測量和管理這一方面至關重要。
這個系統的開發是一個團隊合作的成果,涉及到與合作伙伴和學術機構的協作。這些新傳感器的一個重要特點是它們的尺寸非常小:它們可以適應現有的工廠,不需要額外的空間,這在潔淨室中是非常寶貴的。
值得注意的是,這些傳感器是在韓國設計和製造的。像三星這樣的韓國芯片製造商過去通常嚴重依賴外國工具進行此類先進的過程。開發自家的智能感測系統標誌着一個重大的改變,因爲它在一定程度上減少了對外國工具的依賴,儘管三星使用的大部分工具仍然在國外生產。
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